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1.采用硅烷原料气，经流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气，将混合气在不同的冷却条件下进行吸收，除掉杂质，可得高纯乙硅烷。

2. 甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。

3. 采用硅烷原料气，经质量流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气，混合气在不同的冷却条件下进行吸收，杂质被排出，可得高纯乙硅烷。

乙硅烷是一种有毒的化合物，在室温下为气态。它的性质与乙烷很类似，都是无色易燃的气体，但是它的硅-硅键比乙烷的碳-碳键还来的弱，因此比乙烷还不稳定。乙硅烷通常是氢很好的来源，只要经过简单的化学反应就可以得到氢。

甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解，会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。它用于生产硅晶圆。

乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中，Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。

硅化镁法

Mg2Si + HCl → Si2H6+ MgCl2

反应产物为单硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物，把它们精制分离后得乙硅烷。

还原法

用氢化铝锂等还原剂还原六氯乙硅烷。乙硅烷用低温精馏和吸附等方法精制。

甲硅烷无声放电法

甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。